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Defects in HIgh-k Gate Dielectric Stacks Nano-Electronic Semiconductor Devices

  • Art.-Nr.: X11585705
Defects in HIgh-k Gate Dielectric Stacks Nano-Electronic Semiconductor Devices

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    Beschreibung

    Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Defects in Advanced High-K Dielectric Nano-Electronic Semiconductor Devices, St. Petersburg, Russia, from

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